semiconductor gas tace

Me yasa ake buƙatar amfani da matatun gas a cikin aikin kera semiconductor? 

Matatun gas suna da mahimmanci a cikin tsarin masana'antar semiconductor saboda dalilai masu mahimmanci da yawa:

1. Cire gurɓataccen abu

Ƙirƙirar Semiconductor ya ƙunshi matakai masu mahimmanci da yawa inda har ma da ƙananan gurɓatattun abubuwa,

kamar ƙurar ƙura, danshi, ko ragowar sinadarai, na iya yin illa. Ana cire matatun iskar gas

ɓangarorin abubuwa, ƙazanta, da gurɓataccen iska daga iskar gas, tabbatar da tsaftataccen muhalli

da kuma kiyaye mutuncin wafers na semiconductor.

2. Kula da Matsayin Tsabtataccen Tsabta

Masana'antar semiconductor tana buƙatar matakan tsabta sosai a cikin iskar gas da ake amfani da su, kamar yadda ƙazanta ke iya

haifar da lahani a cikin na'urorin semiconductor. Masu tace iskar gas suna taimakawa cimma ingancin iskar gas mai tsafta, hanawa

gurbatawa da tabbatar da daidaito da amincin samfuran.

3. Kayayyakin Kariya

Abubuwan gurɓatawa a cikin iskar gas ba za su iya cutar da wafers ɗin semiconductor kawai ba amma kuma suna lalata masu hankali

kayan aikin da aka yi amfani da su a cikin tsarin masana'antu, kamar sinadarai na tururi (CVD) reactors da

etching tsarin. Masu tace iskar gas suna kare waɗannan injuna masu tsada daga lalacewa, rage haɗarin

raguwa da gyare-gyare masu tsada.

4. Hana Asarar Haihuwa

Haɓaka yana da mahimmanci a masana'antar semiconductor, inda lahani na iya haifar da hasara mai yawa a samarwa.

Ko da ɓangarorin guda ɗaya ko ƙazantar sinadarai na iya haifar da asarar amfanin gona, yana shafar aiki da riba.

Masu tace iskar gas suna tabbatar da cewa iskar gas ɗin suna da tsafta, rage ƙazanta da rage yawan amfanin ƙasa.

5. Tabbatar da ingancin samfur

Daidaituwa da inganci sune mahimmanci a masana'antar semiconductor. gurbatattun iskar gas na iya haifarwa

rashin daidaituwa, yana haifar da na'urorin semiconductor marasa dogaro. Ta amfani da matatun gas, masana'antun na iya

ba da garantin cewa kowane tsari ya cika ƙaƙƙarfan ƙa'idodin ingancin da ake buƙata, yana haifar da na'ura mafi girma

aiki da tsawon rai.

6. Rage Downtime

Gurɓataccen iskar gas na iya haifar da gazawar kayan aiki, yana buƙatar kulawa ko sauyawa.

Ta amfani da matatun gas, masana'antun na iya rage lokacin da ba zato ba tsammani, kula da ingancin aiki, da kuma

tsawaita rayuwar kayan aiki masu mahimmanci.

7. Daidaituwar sinadarai

Yawancin iskar gas da ake amfani da su a cikin matakai na semiconductor suna da tasiri sosai ko lalata. Gas tace

an ƙera shi don jure wa waɗannan munanan muhallin sinadarai yayin da ake tace ƙazanta yadda ya kamata, tare da tabbatarwa

amintaccen aiki mai inganci.

Gabaɗaya, matatun gas suna da mahimmanci don kiyaye tsabta, amintacce, da aminci na semiconductor

tsarin masana'antu, yana taimakawa don cimma babban inganci, samfuran semiconductor marasa lahani yayin

kuma yana kare kayan aiki masu mahimmanci.

Nau'in matattarar iskar gas a cikin tsarin kera semiconductor

A cikin tsarin masana'antar semiconductor, ana amfani da nau'ikan matatun gas don magance iri-iri

matakai da ƙalubalen da ke tattare da tsabtace gas da kariyar kayan aiki.

Nau'o'in matatun gas da aka saba amfani da su sun haɗa da:

1. Abubuwan Tacewa

*Manufa: Don cire barbashi, ƙura, da sauran ƙaƙƙarfan gurɓata daga iskar gas.

*Amfani: Sau da yawa ana shigar da shi a matakai daban-daban don kare wafers, ɗakunan sarrafawa, da kayan aiki daga gurɓataccen ƙwayar cuta.

*Kayayyaki: Yawanci an yi shi daga bakin karfe na sintered, PTFE, ko wasu kayan da ke tabbatar da dorewa da daidaituwar sinadarai.

2. Nau'in Halitta ko Nau'in Sinadari (Masu Tattaunawa)

*Manufa: Don cire ƙayyadaddun ƙayyadaddun kwayoyin halitta, irin su danshi, oxygen, ko mahadi na kwayoyin halitta, wanda zai iya kasancewa a cikin iskar gas.

*Amfani: Ana amfani da shi lokacin da ake buƙatar iskar gas mai tsafta, kamar a lokacin sakawa ko aiwatar da etching.

*Kayayyaki: Sau da yawa ana yin ta ta amfani da gawayi da aka kunna, zeolite, ko wasu kayan adsorbent waɗanda aka tsara musamman don kama ƙazantattun ƙwayoyin cuta.

3. Matatun Gas Mai Tsafta

*Manufa: Don cimma matsananciyar tsafta (UHP) gas, wanda ke da mahimmanci ga matakan semiconductor inda ƙarancin ƙazanta na iya shafar ingancin samfur.

*Amfani: Ana amfani da waɗannan matatun a cikin matakai kamar Chemical Vapor Deposition (CVD) da Plasma Etching, inda ƙazanta na iya haifar da lahani mai tsanani.

*Kayayyaki: Anyi daga bakin karfe tare da maɓalli na musamman don kula da mutunci a ƙarƙashin matsanancin matsin lamba da matsanancin yanayi.

4. Manyan Gas Tace

*Manufa: Don tsarkake gas a wurin shigarwa ko kafin rarraba zuwa layin masana'anta.

*AmfaniMatsayin sama a cikin tsarin isar da iskar gas don tace iskar gas da yawa kafin a kawo su ga kowane kayan aiki ko injina.

*Kayayyaki: Waɗannan matatun sau da yawa suna da babban ƙarfin sarrafa manyan iskar gas.

5. Mahimman Amfani (POU) Gas Tace

*Manufa: Don tabbatar da cewa iskar gas ɗin da ake bayarwa ga kowane takamaiman kayan aikin sarrafawa ba su da wani gurɓataccen abu.

*Amfani: An shigar da shi kafin a gabatar da iskar gas zuwa kayan aiki, irin su etching ko ɗakunan ajiya.

*Kayayyaki: Anyi daga kayan da suka dace da iskar gas masu amsawa da ake amfani da su a cikin matakai na semiconductor, kamar sintered karfe ko PTFE.

6. Tace Gas na Layi

*Manufa: Don samar da tacewa ta layi don iskar gas da ke motsawa ta hanyar tsarin rarrabawa.

*Amfani: An shigar da shi a cikin layin gas a wurare masu mahimmanci, samar da tacewa mai gudana a cikin tsarin.

*Kayayyaki: Sintered bakin karfe ko nickel don tabbatar da dacewa da sinadaran gas.

7. Filters Dutsen Gas

*Manufa: Don a saka kai tsaye a kan abubuwan da aka gyara na gas don cire barbashi da gurɓataccen kwayoyin halitta.

*Amfani: Na kowa a cikin matsatsun wurare, waɗannan masu tacewa suna ba da ingantaccen tacewa mai amfani a aikace-aikace masu mahimmanci.

*Kayayyaki: Babban-tsarki bakin karfe don karko da dacewa tare da iskar gas na masana'antar semiconductor.

8. Matattarar ƙananan micron

*Manufa: Don tace fitar da kananan ƙananan barbashi, sau da yawa kamar ƙarami, wanda zai iya haifar da mahimman lahani a cikin hanyoyin aiwatar da ayyukan.

*Amfani: Ana amfani da shi a cikin matakai waɗanda ke buƙatar mafi girman matakin tacewa don kula da samar da iskar gas mai tsafta, kamar photolithography.

*Kayayyaki: Ƙarfe mai girma ko kayan yumbu mai yawa wanda zai iya kama tarko har ma da ƙananan ƙwayoyin cuta.

9. Filters Carbon Kunna

*Manufa: Don cire gurɓataccen ƙwayar cuta da iskar gas.

*Amfani: Ana amfani da shi a aikace-aikace inda ake buƙatar cire ƙazantattun gas don hana gurɓacewar wafer ko hargitsi.

*Kayayyaki: Kunna kayan carbon da aka tsara don tallata kwayoyin halitta.

10.Sintered Metal Gas Tace

*Manufa: Don cire barbashi da ƙazanta yadda ya kamata yayin ba da ƙarfin tsari da juriya ga babban matsin lamba.

*Amfani: An yi amfani da shi sosai a cikin matakai da yawa na tsarin semiconductor inda ake buƙatar tacewa mai ƙarfi.

*Kayayyaki: Yawanci an yi shi da bakin karfe na sintered ko wasu kayan haɗin ƙarfe don jure yanayin yanayi da sinadarai.

11.Matattarar Gas na Hydrophobic

*Manufa: Don hana danshi ko tururin ruwa shiga cikin rafin iskar gas, wanda ke da mahimmanci a cikin wasu hanyoyin da ke da mahimmanci ga ko da yawan danshi.

*AmfaniSau da yawa ana amfani dashi a cikin matakai kamar bushewar wafer ko etching plasma.

*Kayayyaki: Hydrophobic membranes, irin su PTFE, don tabbatar da cewa iskar gas ba su da wani danshi gurbatawa.

Waɗannan nau'ikan matatun gas iri-iri an zaɓi su a hankali bisa ƙayyadaddun kaddarorinsu, dacewar kayan aiki, da dacewa ga keɓantaccen yanayi na matakan masana'antar semiconductor. Haɗin madaidaicin masu tacewa yana da mahimmanci don kiyaye mafi girman matakin iskar gas, tabbatar da daidaiton tsari, da hana lahani a cikin na'urorin semiconductor.

Wasu FAQ game da matatun gas na semiconductor

FAQ 1:

Menene matatun gas na semiconductor kuma me yasa suke da mahimmanci?

Semiconductor gas filtattun abubuwa ne masu mahimmanci a cikin tsarin masana'antar semiconductor.

An ƙera su don cire ƙazanta da ƙazanta daga iskar gas, kamaroxygen,

nitrogen, hydrogen, da iskar gas daban-daban.

Waɗannan ƙazanta suna iya tasiri sosai ga inganci, yawan amfanin ƙasa, da amincin na'urorin semiconductor.

Ta hanyar tace magudanan iskar gas yadda ya kamata, matatun gas na semiconductor suna taimakawa:

1.Maintine high tsarki:

Tabbatar cewa iskar gas ɗin da ake amfani da su a cikin tsarin kera ba su da gurɓatacce wanda zai iya lalata aikin na'urar.

2.Hana lalacewar kayan aiki:

Kare kayan aikin semiconductor masu mahimmanci daga gurɓataccen ƙwayar cuta da gurɓataccen sinadarai, wanda zai iya haifar da raguwar lokaci mai tsada da gyare-gyare.

3. Inganta yawan amfanin ƙasa:

Rage lahani da gazawar da gurbataccen iskar gas ke haifarwa, yana haifar da haɓakar samarwa.

4. Inganta amincin na'urar:

Rage lalacewa na dogon lokaci na na'urorin semiconductor saboda abubuwan da ke da alaƙa da gurɓatawa.

FAQ 2:

Wadanne nau'ikan matatun gas na semiconductor ne gama gari?

Ana amfani da nau'ikan matatun gas da yawa a masana'antar semiconductor, kowanne an tsara shi don cirewa

takamaiman nau'ikan gurɓatattun abubuwa.

Mafi yawan nau'ikan sun haɗa da:

1.Particulate filters:

Wadannan matattarar suna cire tsattsauran ɓangarorin, kamar ƙura, zaruruwa, da ɓangarorin ƙarfe, daga magudanan iskar gas.

Yawanci ana yin su ne da kayan kamar sintered karfe, yumbu, ko matattarar membrane.

2.Chemical tacewa:

Wadannan matattarar suna cire dattin sinadarai, kamar tururin ruwa, hydrocarbons, da iskar gas masu lalata.

Yawancin lokaci suna dogara ne akan ka'idodin talla ko sha, ta amfani da kayan kamar carbon da aka kunna,

sieves na kwayoyin halitta, ko sinadarai.

3.Masu tacewa:

Waɗannan masu tacewa suna haɗa ƙarfin abubuwan tacewa da sinadarai don cire nau'ikan biyun

gurɓatattun abubuwa. Ana amfani da su sau da yawa a cikin aikace-aikace masu mahimmanci inda babban tsabta yana da mahimmanci.

FAQ 3:

Ta yaya ake zaɓe kuma aka tsara matatun iskar gas na semiconductor?

Zaɓi da ƙira na filtar gas na semiconductor sun ƙunshi abubuwa da yawa, gami da:

* Bukatun tsaftar iskar gas:

Matsayin da ake so na tsafta don takamaiman rafin iskar gas yana ƙayyade ingancin tacewa da ƙarfin tacewa.

* Yawan kwarara da matsa lamba:

Ƙarar gas ɗin da za a tace da kuma matsa lamba mai aiki yana rinjayar girman tacewa, kayan aiki, da daidaitawa.

* Nau'in gurɓataccen abu da maida hankali:

takamaiman nau'ikan gurɓatattun abubuwan da ke cikin rafin iskar gas suna ba da zaɓin zaɓin kafofin watsa labarai masu tacewa da girman ramin sa.

* Zazzabi da zafi:

Yanayin aiki na iya shafar aikin tacewa da tsawon rayuwa.

*Kudi da kulawa:

Dole ne a yi la'akari da farashin farko na tacewa da abubuwan da ke gudana.

Ta hanyar yin la'akari da waɗannan abubuwan a hankali, injiniyoyi za su iya zaɓar da tsara matatun gas waɗanda suka dace da takamaiman

bukatun tsarin masana'antu na semiconductor.

Sau nawa ya kamata a maye gurbin matatun gas a masana'antar Semiconductor?

Sauyawa mitar matatun gas a masana'antar semiconductor ya dogara da dalilai da yawa, gami da nau'in

tsari, matakin gurɓatawa, da takamaiman nau'in tacewa da ake amfani da su. Yawanci, ana maye gurbin matatun gas akai-akai

tsarin kulawa don hana duk wani haɗarin gurɓatawa,sau da yawa kowane watanni 6 zuwa 12, dangane da yanayin amfani

da shawarwari daga masana'anta tace.

Koyaya, jadawalin maye zai iya bambanta yadu bisa yanayin aiki. Misali:

*Hanyoyi Masu Guba:

Ana iya buƙatar maye gurbin matattara akai-akai idan an fallasa su zuwa manyan matakan

gurɓataccen ƙwayar cuta ko ƙwayoyin cuta.

*Mahimman Aikace-aikace:

A cikin matakan da ke buƙatar tsafta mai girma (misali, photolithography), sau da yawa ana maye gurbin masu tacewa

preemptively don tabbatar da cewa iskar gas ba a lalacewa.

Kula da matsi daban-daban a cikin tacewa hanya ce ta gama gari don tantance lokacin da ake buƙatar maye gurbin tacewa.

Yayin da gurɓataccen abu ya taru, raguwar matsa lamba a fadin tace yana ƙaruwa, yana nuna raguwar inganci.

Yana da mahimmanci don maye gurbin masu tacewa kafin ingancin su ya ragu, saboda duk wani keta tsabtar gas na iya haifar da lahani mai mahimmanci.

rage yawan amfanin ƙasa, har ma da haifar da lalacewar kayan aiki.

Wadanne Kayayyaki Ne Aka Yi Tacewar Gas Don Aikace-aikacen Semiconductor?

Ana yin matatun iskar gas da ake amfani da su a aikace-aikacen semiconductor daga kayan da za su iya kula da mafi girman ƙa'idodin tsabta

da kuma jure wa matsanancin yanayi da ake samu a masana'antu. Abubuwan gama gari sun haɗa da:

Bakin Karfe (316L): Abubuwan da aka fi amfani dasu saboda juriya na sinadarai, ƙarfin injina, da

iya ƙirƙira tare da madaidaicin girman pore ta amfani da fasahar sintering. Ya dace da tace duka biyun

da inert gas.

Polytetrafluoroethylene (PTFE): PTFE wani abu ne da ba a iya amfani da shi na sinadarai da ake amfani da shi don tacewa sosai ko lalata

gas. Yana da kyakkyawan daidaituwar sinadarai da kaddarorin hydrophobic, yana mai da shi manufa ga danshi-m

matakai.

*Nickel da Hastelloy:

Ana amfani da waɗannan kayan don aikace-aikacen zafin jiki mai zafi ko don tafiyar matakai da suka haɗa da sinadarai masu haɗari

inda bakin karfe zai iya lalacewa.

* yumbu:

Ana amfani da matatun yumbu don aikace-aikace inda ake buƙatar matsananciyar juriya, ko don ƙananan micron

tacewa na barbashi.

Zaɓin kayan aiki ya dogara da nau'in gas, kasancewar nau'in nau'in amsawa, zazzabi, da

sauran tsarin sigogi. Dole ne kayan su kasance marasa amsawa don tabbatar da cewa basu gabatar da wani ƙazanta ba

ko barbashi a cikin tsari, don haka kiyaye matakan tsaftar gas da ake buƙata don ƙirƙira semiconductor.

Menene Matsayin Tacewar-da-Amfani (POU) a cikin Masana'antar Semiconductor?

Matatun-Amfani (POU) suna da mahimmanci a masana'antar semiconductor, saboda suna tabbatar da tsabtace iskar gas nan da nan kafin.

shigar da kayan aikin tsari. Waɗannan masu tacewa suna ba da kariya ta ƙarshe daga gurɓatattun abubuwa waɗanda wataƙila sun shiga rafin iskar gas

a lokacin ajiya, sufuri, ko rarrabawa, don haka inganta tsarin aiki da ingancin samfurin.

Muhimman Fa'idodin Filters na POU:

* Matsayi kusa da kayan aiki masu mahimmanci (misali, etching ko ɗakunan ajiya) don hana kamuwa da cuta isa ga wafer.

* Cire ƙazantattun ƙwayoyin cuta da ƙwayoyin cuta waɗanda tsarin sarrafa iskar gas zai iya gabatar da su ko bayyanar muhalli.

* Tabbatar cewa an isar da mafi girman ingancin iskar gas zuwa kayan aikin sarrafawa, kayan aikin kariya da haɓaka ingancin na'urorin da aka kera.

* Rage canjin tsari, ƙara yawan amfanin ƙasa, da rage matakan lahani.

*Babu makawa a cikin ci-gaba na semiconductor muhallin inda ko da ƙananan ƙazanta na iya tasiri ga yawan aiki da amincin samfur.

Ta yaya Tace Gas ke Hana Saukar Kayan Aikin Aiki a Tsarukan Semiconductor?

Masu tace iskar gas suna hana ƙarancin kayan aiki a cikin ayyukan semiconductor ta hanyar tabbatar da cewa iskar gas ɗin ba su da kullun

gurɓataccen abu wanda zai iya haifar da lalacewa ga kayan aikin masana'antu. Ƙirƙirar Semiconductor ta ƙunshi amfani da sosai

kayan aiki masu mahimmanci, gami da ɗakunan ajiya, injunan etching plasma, da tsarin daukar hoto.

Idan gurɓatattun abubuwa kamar ƙura, damshi, ko ƙazanta masu amsawa sun shiga waɗannan injinan, suna iya haifar da matsaloli iri-iri.

daga toshe bawuloli da nozzles zuwa lalata saman wafer ko na ciki na reactor.

Ta hanyar amfani da matatun gas masu inganci, masana'antun suna hana gabatarwar waɗannan gurɓatattun abubuwa, rage yuwuwar

gyare-gyaren da ba a shirya ba da lalacewar kayan aiki. Wannan yana taimakawa wajen kiyaye tsayayyen jadawalin samarwa, rage girman

raguwa mai tsada, da kuma guje wa manyan kuɗaɗen da ke tattare da gyare-gyare ko sauyawa.

Bugu da ƙari, ingantaccen tacewa yana taimakawa tsawaita rayuwar mahimman abubuwan, kamar masu sarrafa kwarara, bawuloli, da reactors,

don haka inganta ingantaccen aiki da riba gaba ɗaya na tsarin masana'antu.

Don haka bayan bincika wasu cikakkun bayanai game da matatun gas na semiconductor, idan har yanzu kuna da wasu ƙarin tambayoyi.

Shin kuna shirye don inganta tsarin masana'antar ku tare da ingantaccen ingantaccen tace gas?

Tuntuɓi HENGKO a yau don jagorar ƙwararru da mafita na musamman don biyan bukatun ku.

Bayan duba wasu cikakkun bayanai game da matatar gas na semiconductor, idan kun sami ƙarin tambayoyi?

Shin kuna shirye don inganta tsarin masana'antar ku tare da ingantaccen ingantaccen tace gas?

Tuntuɓi HENGKO a yau don jagorar ƙwararru da mafita na musamman don biyan bukatun ku.

Yi mana imel aka@hengko.comdon ƙarin bayani.

Ƙungiyarmu tana nan don taimaka muku haɓaka ingantaccen samarwa da ingancin samfuran ku.